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image 金屬中心成功開發臺灣首台單腔雙製程PECVDPEALD整合設備,針對穿隧氧化層與背鈍化層進行高均勻性沉積,已完成效率與良率驗證,有效改善傳統製程限制,具量產應用潛力。

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